EA-160是一款全自动非接触式表面测量仪。利用光谱共焦原理，EA-160可用于膜厚线宽测量、微观尺寸测量、高度差测量、平面度测量、共面度测量、粗糙度测量等，也可对透明半透明材质进行多层尺寸测量。高精度、高速测量，结合强大易用的软件，EA-160膜厚测试仪被广泛应用于微电子、半导体、5G、3D玻璃、新型医疗、精密工业制造等领域。

应用领域：

HTCC膜厚线宽测量、LTCC膜厚线宽测量、SOFC印刷厚度测试、厚膜电路测量、晶圆涂胶测量、MEMS测量、SENSOR测量、太阳能硅片测量、芯片形貌测量、透明材质测量、环氧树脂测量、印刷图形测量、激光镭雕测量、Wafer槽深测量、断差测量、Lens测量、油墨厚度测量、蓝宝石厚度测量、曲面镜片测量

特点：

高速度、高精度自动测量系统

最大160mm*160mm 范围测量

透明材质穿透测量

测量膜厚、线宽、平面度等

多程序自由切换，方便灵活

参数：